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LCD级磷酸
电子级磷酸
性状：
无色、无臭、粘稠状液体，溶于水及乙醇。
用途：
广泛应用于超大规模集成电路, 薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻。
包装：
330kg 或IBC桶装, ISO Tank。
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Specifications of Phosphoric Acid Electronic Grade National Standard GB 28159-2011 |
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No. |
Items of Analysis |
Unit |
E1（LCD grade） |
E2 (IC grade) |
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1 |
磷酸 H3PO4 |
% |
85-87 |
85-87 |
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2 |
易氧化物 H3PO3 |
% |
≤0.005 |
≤0.001 |
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3 |
硝酸盐NO3 |
mg/kg |
≤5 |
≤0.5 |
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4 |
硫酸盐SO4 |
mg/kg |
≤10 |
≤5 |
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5 |
氯化物Cl |
mg/kg |
≤1 |
≤0.5 |
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6 |
铝 Al |
µg/kg |
≤200 |
≤50 |
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7 |
硼 B |
µg/kg |
----- |
≤50 |
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8 |
锑 Sb |
µg/kg |
≤3000 |
≤300 |
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9 |
砷 As |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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10 |
钡 Ba |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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11 |
镉 Cd |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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12 |
钙 Ca |
µg/kg |
≤1000 |
≤50 |
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|
13 |
铬 Cr |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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14 |
钴 Co |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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15 |
铜 Cu |
µg/kg |
≤50 |
≤20 |
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16 |
镓 Ga |
µg/kg |
≤100 |
≤10 |
|
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17 |
金 Au |
µg/kg |
≤100 |
≤10 |
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|
18 |
铁 Fe |
µg/kg |
≤300 |
≤50 |
|
|
19 |
铅 Pb |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
20 |
锂 Li |
µg/kg |
≤100 |
≤10 |
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21 |
镁 Mg |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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|
22 |
锰 Mn |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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|
23 |
镍 Ni |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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24 |
钾 K |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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|
25 |
银 Ag |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
26 |
钠 Na |
µg/kg |
≤500 |
≤50 |
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27 |
锡 Sn |
µg/kg |
------ |
≤10 |
|
|
28 |
锶 Sr |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
29 |
钛 Ti |
µg/kg |
≤100 |
≤50 |
|
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30 |
锌 Zn |
µg/kg |
≤100 |
≤50 |
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31 |
颗粒 Granule |
µm,pcs/ml |
----- |
------ |
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