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电子级级磷酸

广泛应用于超大规模集成电路, 薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻。

关键词：

电子磷酸志诚化工食品级磷酸

所属分类：

磷化工产品

产品咨询：

产品描述

电子级磷酸

性状：

无色、无臭、粘稠状液体，溶于水及乙醇。

用途：

广泛应用于超大规模集成电路, 薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻。

包装：

200L圆桶、IBC桶、ISO国际标准罐式集装箱。

	Specifications of Phosphoric Acid Electronic Grade National Standard GB 28159-2011
	No.	Items of Analysis	Unit	E1（LCD grade）	E2 (IC grade)
1		磷酸 H₃PO₄	%	85-87	85-87
2		易氧化物 H₃PO₃	%	≤0.005	≤0.001
3		硝酸盐NO₃	mg/kg	≤5	≤0.5
4		硫酸盐SO₄	mg/kg	≤10	≤5
5		氯化物Cl	mg/kg	≤1	≤0.5
6		铝 Al	µg/kg	≤200	≤50
7		硼 B	µg/kg	-----	≤50
8		锑 Sb	µg/kg	≤3000	≤300
9		砷 As	µg/kg	≤100	≤20
10		钡 Ba	µg/kg	≤100	≤20
11		镉 Cd	µg/kg	≤100	≤20
12		钙 Ca	µg/kg	≤1000	≤50
13		铬 Cr	µg/kg	≤100	≤20
14		钴 Co	µg/kg	≤100	≤20
15		铜 Cu	µg/kg	≤50	≤20
16		镓 Ga	µg/kg	≤100	≤10
17		金 Au	µg/kg	≤100	≤10
18		铁 Fe	µg/kg	≤300	≤50
19		铅 Pb	µg/kg	≤100	≤20
20		锂 Li	µg/kg	≤100	≤10
21		镁 Mg	µg/kg	≤100	≤20
22		锰 Mn	µg/kg	≤100	≤20
23		镍 Ni	µg/kg	≤100	≤20
24		钾 K	µg/kg	≤100	≤20
25		银 Ag	µg/kg	≤100	≤20
26		钠 Na	µg/kg	≤500	≤50
27		锡 Sn	µg/kg	------	≤10
28		锶 Sr	µg/kg	≤100	≤20
29		钛 Ti	µg/kg	≤100	≤50
30		锌 Zn	µg/kg	≤100	≤50
31		颗粒 Granule	µm,pcs/ml	-----	------

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